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关键字：

类　别：

产品名称：飞行时间二次离子质谱仪 PHI nano TOF 3+

产品简介：

飞行时间二次离子质谱仪

新一代 TRIFT 质量分析器，更好的质量分辨率
适用于绝缘材料的无人值守自动化多样品分析
离子束技术
平行成像 MS/MS 功能，助力有机大分子结构分析
多功能选配附件

TRIFT分析器适用于各种形状的样品

宽带通能量+宽立体接收角度

宽带通能量、宽立体接受角-适用于各种形貌样品分析

实现高精度分析的一次离子枪

离子束技术实现更高质量分辨

PHI nanoTOF3+ 能够提供高质量分辨和高空间分辨的TOF-SIMS分析：在高质量分辨模式下，其空间分辨率优于500 nm ；在高

空间分辨模式下，其空间分辨模式优于50 nm。通过结合高强度离子源、高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器，可以实现低

噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量；在这两种模式下，只需几分钟的测试时间，均可完成采谱分析。

TOF-SIMS自动化多样品分析-适用于绝缘材料

PHI nanoTOF3+搭载全新开发的自动化多样品分析功能，程序可根据样品导电性自动调整分析时所需的高度与样品台偏压，可以对包括绝缘材料在内的各类样品进行无人值守自动化TOF-SIMS分析。

整个分析过程非常简单，只需三步即可对多个样品进行表面或深度分析：①在进样室拍摄样品台照片；②在进样室拍摄的照片上指定分析点；③按下分析键，设备自动开始分析。过去，必须有熟练的操作人员专门操作仪器才能进行TOF-SIMS分析；现在，无论操作人员是否熟练，都可以获得高质量的分析数据。

标配自动化传样系统

PHI nanoTOF3+配置了在XPS上表现优异的全自动样品传送系统：样品尺寸可达100mmx100 mm，而且分析室标配内置样品托停放装置；结合分析序列编辑器（Queue Editor），可以实现对大量样品的全自动连续测试。

采用新开发的脉冲氲离子枪获得

Patent自动荷电双束中和技术

TOF-SIMS测试的大部分样品为绝缘样品，而绝缘样品表面通常有荷电效应。PHI nanoTOF3+采用自动荷电双束中和技术，通过同时发射低能量电子束和低能量氲离子束，可实现对任何类型和各种形貌的绝缘材料的真正自动荷电中和，无需额外的人为操作。

·需要选配Ar离子枪

远程访问实现远程控制仪器

PHI nanoTOF3+允许通过局域网或互联网访问仪器。只需将样品台放入进样室，就可以对进样、换样、测试和分析等所有操作进行远程控制。我们的专业人员可以对仪器进行远程诊断*如需远程诊断，请联系我们的客户服务人员。

从截面加工到截面分析：只需一个离子源即可完成

标配离子枪FIB(Focused lon Beam)功能

在PHI nanoTOF3+中，液态金属离子枪具备FIB功能，可以使用单个离子枪对样品进行横截面加工和横截面TOF-SIMS分析。通过操作计算机，可以快速轻松地完成从FIB处理到TOF-SIMS分析的全过程。此外，可在冷却条件下进行FIB加工。在选配Ga源进行FIB加工时，可以获得FIB加工区域的3D影像；Ga源还可以作为第二分析源进行TOF-SIMS分析。

通过平行成像MS/MS进行分子结构分析[选配]

MS/MS平行成像同时采集MS1/MS2数据

在TOF-SIMS测试中，MS1质量分析分析器接收从样品表面产生的所有二次离子碎片，对于质量数接近的大分子离子，MS1谱图难以区分。通过安装串联质谱MS2，对于特定离子进行碰撞诱导解离生产特征离子碎片，MS2谱图可以实现对分子结构的进一步鉴定。PHI nanoTOF3 +具备串联质谱MS/MS平行成像功能，可以同时获取分析区域的MS1和MS2数据，为有机大分子结构解析提供了强有力的工具。

多样化配置充分发挥TOF-SIMS潜力

可拆卸手套箱：可安装在样品导入室

可以选配直接连接到样品进样室的可拆卸手套箱。锂离子电池和有机OLED等容易与大气发生反应的样品可以直接安装在样品台上。此外，在冷却分析后更换样品时，可以防止样品表面结霜。

氩团簇离子源（Ar-GCIB）：有机材料深度剖析

使用氩团簇离子源(Ar-GCIB)能够有效减少溅射过程中对有机材料的破坏，从而在刻蚀过程中保留有机大分子结构信息。

Cs源和Ar/O2源：无机材料深度剖析

可根据测试需求选择不同的离子源提高二次离子产额，使用Cs源可增强负离子产额；O2源可增强正离子产额

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Server Error

Runtime Error

Description: A server error has occurred. The current custom error settings prevent the details of the error from being viewed remotely (for security reasons). It could, however, be viewed by browsers running on the local server machine.

Details: To enable the details of this specific error message to be viewable on remote machines, please define an errorDetails attribute within the "filter.config" configuration file. This errorDetails attribute should then have its value set to "On".


<!-- Filter.Config Configuration File -->

<configuration>
    <httpFilters errorDetail="On">
        <!-- managed filters configuration -->
    </httpFilters>
</configuration>

Notes: The current error page you are seeing can be replaced by a custom error page by modifying the "errorPage" attribute of the <httpFilters> configuration tag to point to a custom error page location.


<!-- Filter.Config Configuration File -->

<configuration>
    <httpFilters errorDetail="LocalOnly" errorPage="mycustompage.htm">
        <!-- managed filters configuration -->
    </httpFilters>
</configuration>