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使用CUBE系列扫描电镜进行异常点分析

在工业生产的过程中,由于设备、环境等外在因素影响,可能会导致生产出来的产品未达到出厂标准,这时就需要检验人员进行检查,找到产生异常点的位置。异常点的尺寸通常来说都很微小,需要借助扫描电镜来进行分析。


CUBE系列扫描电镜可以在一个相对范围内找到需要观察的区域,并且通过EDS来分析该区域内的元素,增加数据,帮助分析。下面是我们使用CUBE系列扫描电镜进行分析的两个案例

案例一



样本为一个金属件,经过加工后物体表面有黑色的点状物质,这会导致产品性能受限。



使用CUBE系列扫描电镜拍摄后,从图像中只能看出金属件的表面确实有几十微米级别的黑色物质,并不能判断它的组成。所以又对该区域进行了面扫,从面扫结果中可以看出,黑色颗粒中的主要物质为碳。那么可以从中推断该黑色颗粒应该是加工过程中,油类物质掉在金属件上,从而导致的产品缺陷。




案例二


在工厂生产加工器件的过程中,会出现有碎屑掉落的情况。碎屑的尺寸较小,通常无法用常规光学显微镜判断,这时我们需要借助SEM来进行分析。



从图像中可以看出,碎屑的尺寸均小于1mm。


放大后再使用面扫进行元素分析。从面扫结果中,可以看出碎屑的元素主要有锰、铁、碳和氧等多种元素。用户根据铁和锰的比例可以判断碎屑的来源。


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