| 1994年，ISO 10360国际标准《坐标测量机的验收、检测和复检检测》开始实施。这个标准说明了坐标测量机性能检测的基本步骤。中国目前实行的测量机国家标准GB/T16857.2-1997 《坐标计量学－第二部分：坐标测量机的性能测定》便等同于ISO相应标准。
ISO 10360在主标题“产品几何量技术规范(GPS) – 坐标测量机(CMM)的验收检测和复检检测”下，共分以下六个部分
——第1部分：词汇
——第2部分：测量线性尺寸的坐标测量机
——第3部分：配置转台轴线为第四轴的坐标测量机
——第4部分：扫描测量型坐标测量机
——第5部分：多探针探测系统的坐标测量机
——第6部分：计算高斯辅助要素的误差评定
ISO主要包含三个主要参数：长度测量允许示值误差(MPEE)、允许探测误差(MPEP)；对于扫描测量，采用允许扫描探测误差(MPETHP)
以下是关于ISO 10 360的简要介绍
ISO 10 360-1 (2000) “词汇”
该标准的第一部分定义了所有与坐标测量机相关的词汇定义。例如："探测系统" 或 "标准球"，在这儿，我们就不再细述。
ISO 10 360-2 (2001)“测量线性尺寸的坐标测量机
标准的这个部分适用于所有的测量机。它描述了坐标测量机的两个基本定义:
长度测量允许示值误差(MPEE)和允许探测误差(MPEP)
ISO 10 360-3 (2000) “配置转台轴线为第四轴的坐标测量机”
对于配备了转台的测量机来说，测量机的测量误差在这部分进行了定义。主要包含三个指标：径向四轴误差(FR)、切向四轴误差(FT)、轴向四轴误差(FA)。
ISO 10 360-4 (2000) “扫描测量型坐标测量机”
这个部分适用于具有连续扫描功能的坐标测量机。它描述了在扫描模式下的测量误差。
大多数测量机制造商定义了"在THP情况下的空间扫描探测误差"。在THP之外，标准还定义了在THN、TLP和TLN情况下的扫描探测误差。
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